管式爐(CVD管式爐)
FGL系列-管式梯度爐
管式梯度爐分為雙溫區FGL系列和多溫區FGL(TD)系列,雙溫區梯度爐設計用于在同一腔體內實現不同的溫度差的CVD工藝,多溫區管式梯度爐設計用于樣品在不同溫度區域的燒結,用戶就能研究燒制溫度對制品的影響,多溫區管式梯度爐采用無紙記錄儀在線記錄各溫區工作參數。
特點
1、智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調用多段程序
2、多溫區組合式控制,溫度梯度大,工藝符合性強
3、爐殼結構,雙層爐殼風冷結構
4、溫度過高保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電
5、LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕,經久耐用
額外選件: 爐內測量系統(氧含量測量系統、溫度測量系統)
真空系統(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組)
氣氛系統(浮子流量計、質量流量計)
監控系統(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控)
技術參數
|
設備型號 |
設計溫度 |
使用溫度 |
管徑 |
溫區長度 |
熱偶 |
電壓 |
功率 |
|
FGL-60/17/2 |
1700℃ |
高溫區1000-1600℃ 低溫區 RT-1200℃ |
60mm |
200/200mm |
B/S |
220V |
7.0KW |
|
FGL-80/17/2 |
1700℃ |
80mm |
200/200mm |
B/S |
220V |
7.0KW |
|
|
FGL-60/14/2 |
1400℃ |
高溫區RT-1300℃ 低溫區RT-1000℃ |
60mm |
200/200mm |
S/K |
220V |
6.0KW |
|
FGL-80/14/2 |
1400℃ |
80mm |
200/200mm |
S/K |
220V |
6.0KW |
|
|
|
|||||||
|
FGL(TD)-60/17 |
1700℃ |
RT-1600℃ |
60mm |
加熱區200mm |
B/S/K |
220V |
2.5KW |
|
FGL(TD)-80/17 |
1700℃ |
RT-1600℃ |
80mm |
加熱區200mm |
B/S/K |
220V |
2.5KW |
注:給出的設計溫度為工作管外測定,其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。
網址: www.yvcs.cn
銷售熱線:0551-6716 6660,139 6671 8548 方先生
郵箱: sales@facerom.com